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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的監(jiān)測(cè)
1、無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)主要是過(guò)濾器的更換周期，還有無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個(gè)無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過(guò)濾器的三級(jí)空氣凈化系統(tǒng)，控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)等。作為末端過(guò)濾裝置過(guò)濾器決定著整個(gè)凈化系統(tǒng)的運(yùn)行效果，無(wú)塵車(chē)間裝修因此對(duì)于過(guò)濾器的更換時(shí)間是非常重要的。
3、在無(wú)塵車(chē)間的裝修里，無(wú)論是安裝在凈化空調(diào)機(jī)組末端的大風(fēng)量空氣過(guò)濾器還是安裝在送風(fēng)口的空氣過(guò)濾器，這些必需要有準(zhǔn)確性的運(yùn)行時(shí)間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù)，如在常態(tài)的使用情況下，過(guò)濾器的使用壽命可以長(zhǎng)達(dá)一年以上。
潔凈室應(yīng)設(shè)型的人、貨運(yùn)物流安全通道。工作人員應(yīng)按照規(guī)定的清潔程序流程進(jìn)到，并應(yīng)嚴(yán)控總數(shù)。針對(duì)原材料可在去除塵土后拆掉業(yè)務(wù)外包根據(jù)緩沖間或傳送柜送進(jìn)。不一樣清潔級(jí)別的潔凈區(qū)物件則根據(jù)不銹鋼傳遞窗傳輸。正中間站宜建在中心部位，便于減少運(yùn)輸間距。清潔區(qū)域內(nèi)不設(shè)與本職位不相干的管道。靈活運(yùn)用左右或周邊的技術(shù)性?shī)A層，全部公共管道、加工工藝管道的主桿管均在技術(shù)性?shī)A層安裝。穿越重生路面、隔斷墻的管道盡量挨近應(yīng)用點(diǎn)并鋪設(shè)套管，套管內(nèi)的管道不應(yīng)有焊接，管道與套管中間應(yīng)有可叉的密封性對(duì)策。進(jìn)到潔凈室的管道應(yīng)是金屬材質(zhì)。
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